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电容式传感器的原理，其在结构上有如下特点，这无论对使用和设汁制造上都必须充分注意才能保证发挥IFM电容传感器的长处。
①对绝缘要求高，因此极板支持构件或极板间绝缘材料均要求用有良好绝缘性能的如石英、陶瓷、聚四氟乙烯、云母等。这是因为传感器电容一般不大（pf级），因此是高阻抗，绝缘电阻作为其旁路，必需比一般电器的绝缘电阻（几兆欧）高出许多，才不致于影响电容的性能。
②要能经受外界环境（如温度、湿度、压力等）的变化，温度会影响极板尺寸，间隙大小以及介质介电常数;湿度对介电常数和绝缘电阻影响更大，严重时在极板上结露会危及正常工作;空气压力不仅会影响电容值，甚至会影响极板间耐压强度;尘埃及腐蚀气体亦都会影响正常工作。因此材料上选用膨胀小，耐温、防腐的：结构取形状稳定性好、能防尘、隔温、防凝露的。
③要尽量减小极板间的边缘场电容Ca。引线电缆的分布电容Cd，极板与周围导体等构件构成的寄生电容Cp。因为它们使传感器实际电容增加，使随被测量变化的相对值下降，造成灵敏度降低，此外它们随外界条件随机变化，会严重干扰传感器随被测量而变化的部分。因此在结构等方面的采取有相应措施，若是非接触测量，被测件作为一个极板时，则希望它光洁、平整、面积不小于另一极板。
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